Некоторые методы, которые используются для измерения крошечных объектов в микроэлектронике:

• Электронная микроскопия. 14 С её помощью создают трёхмерные изображения объектов и измеряют их высоту, сравнивая два стереоизображения с помощью компьютера. 1 Например, чтобы измерить высоту провода в кремниевой микросхеме, электронный луч сканирует провод, регистрируя изменения фокуса. 1
• Лазерная дифрактометрия. 2 Ширина (период) элемента определяется по параметрам дифракционного спектра, возникающего при освещении одного или группы элементов в виде дифракционной решётки пучком когерентного света. 2
• Лазерная интерферометрия. 2 Этот метод обеспечивает высокую точность и воспроизводимость результатов измерений малых длин. 2 Эталонной мерой в этом случае служит длина волны лазерного излучения. 2
• Туннельная сканирующая вакуумная микроскопия (ТСВМ, СТМ). 4 Метод предназначен для исследования поверхности твёрдых электропроводящих тел в вакууме, газе или жидкости. 4 Он основан на сканировании металлического острия над поверхностью образца на расстоянии около 5–10 А. 4 Регистрируемый туннельный ток воспроизводит рельеф поверхности. 4