Какие методы используются для измерения крошечных объектов в микроэлектронике?

Некоторые методы, которые используются для измерения крошечных объектов в микроэлектронике:

• Электронная микроскопия. www.newscientist.com cyberleninka.ru С её помощью создают трёхмерные изображения объектов и измеряют их высоту, сравнивая два стереоизображения с помощью компьютера. www.newscientist.com Например, чтобы измерить высоту провода в кремниевой микросхеме, электронный луч сканирует провод, регистрируя изменения фокуса. www.newscientist.com
• Лазерная дифрактометрия. microsystems.ru Ширина (период) элемента определяется по параметрам дифракционного спектра, возникающего при освещении одного или группы элементов в виде дифракционной решётки пучком когерентного света. microsystems.ru
• Лазерная интерферометрия. microsystems.ru Этот метод обеспечивает высокую точность и воспроизводимость результатов измерений малых длин. microsystems.ru Эталонной мерой в этом случае служит длина волны лазерного излучения. microsystems.ru
• Туннельная сканирующая вакуумная микроскопия (ТСВМ, СТМ). cyberleninka.ru Метод предназначен для исследования поверхности твёрдых электропроводящих тел в вакууме, газе или жидкости. cyberleninka.ru Он основан на сканировании металлического острия над поверхностью образца на расстоянии около 5–10 А. cyberleninka.ru Регистрируемый туннельный ток воспроизводит рельеф поверхности. cyberleninka.ru