Для измерения концентрации озона при обработке помещений ультрафиолетом используют, например, газоанализаторы озона. 14

Также для измерения концентрации озона применяют методы, основанные на хемилюминесцентном анализе, поглощении излучения в УФ-области и электрохимических методах. 2

Некоторые из таких методов:

• Хемилюминесцентные методы. 2 Обладают высокой чувствительностью и быстродействием, но требуют частой калибровки твердотельных люминофоров и постоянной подкачки газа для газообразных люминофоров. 2
• Метод измерения озона по поглощению УФ-излучения. 2 Чаще всего используют излучение ртутной лампы низкого давления. 2
• Оптоакустический метод. 2 Измерения озона проводят при поглощении четвёртой гармоники Xd:YAG лазера. 2