Для формирования микрофлюидных систем на плоской пластине используют различные методы, среди них:

• Фотолитография. 14 Метод заключается в избирательном травлении поверхностного слоя с использованием защитной фотомаски. 4 На поверхность наносят светочувствительное вещество (фоторезист), которое подвергается локальному воздействию света. 1 Затем, в зависимости от типа фоторезиста, засвеченные или не подвергнутые экспонированию области удаляют специализированным химическим составом. 1
• Лазерная микрообработка. 12 Метод удаления вещества с поверхности лазерным импульсом. 1 При низкой мощности углекислотного лазера (до 50 Вт) вещество испаряется или сублимируется в виде свободных молекул, атомов и ионов. 1
• Гидроабразивная обработка. 1 Метод механической обработки поверхности и формирования микроразмерных каналов. 1
• LIGA-технологии. 1 Метод, при котором сложно создать структуры произвольного дизайна с параллельными стенками и низкой дефектностью. 1
• Термическое связывание (спекание). 2 Метод герметизации стеклянных пластин с микроканалами, который проводят при высоких температурах (500–1050 °С). 2
• Анодное связывание. 2 Метод герметизации, который проводят при 70–500 °С и напряжении 50–1200 В. 2

Также для создания микрофлюидных систем могут применяться микроконтактный оттиск/печать, репликационное микролитье и термоформирование. 1