Для изготовления измерительных приборов высокой точности чаще всего применяются следующие материалы:

• Инструментальная сталь. 3 В её состав входит углерод и легирующие добавки, которые повышают прочность сплава, его электропроводность и стойкость к коррозии. 3 Например, калибры и плитки высоких классов точности изготовляют из сталей X и ХВГ, а калибры простой формы и пониженных классов точности — из сталей У10А, У11А, У12А, 11Х. 1
• Инварные сплавы. 2 Они обладают улучшенными литейными свойствами, высокими демпфирующими характеристиками, расширенными интервалами эксплуатационных температур и повышенной коррозионной стойкостью. 2 Из инварных сплавов делают базовые детали спектрометров, измерительных машин, стендов. 2
• Сверхтвёрдые материалы. 1 К ним относятся композиционные материалы на основе нитрида бора (композиты), а также поликристаллические и монокристаллические синтетические алмазы. 1 Например, марка алмаза АСТ используется для изготовления наконечников измерительных приборов. 1