В природе встречаются три стабильных изотопа кремния: 28Si (92,2297%), 29Si (4,6832%) и 30Si (3,0872%). 4

Отличие изотопов заключается в их атомной концентрации: 28Si — 92,205–92,241%, 29Si — 4,678–4,692% и 30Si — 3,082–3,102% соответственно. 6 Разброс концентрации обусловлен происхождением кремния из разных природных источников. 6

Также существует радиоактивный изотоп 31Si, который быстро распадается (период полураспада 157,3 минут) от бета-излучения до стабильного фосфора. 1 Более долговечным является 32Si с периодом полураспада 172 лет. 1 Следы этого изотопа образуются в земной атмосфере путём расщепления аргона космическим излучением. 1