Какие ионизаторы используются для создания плазмы в науке и технике?

Для создания плазмы в науке и технике обычно используют электрические газовые разряды. scienceforum.ru portal.tpu.ru

Некоторые виды разрядов и их применение:

• Искровой. scienceforum.ru При его развитии возникают тонкие искровые каналы (стримеры), пронизывающие разрядный промежуток между электродами и заполненные плазмой. scienceforum.ru
• Дуговой. scienceforum.ru Применяется в мощных источниках света, электродуговых печах для плавки высококачественных сталей, при электросварке металлов, а также в генераторах непрерывной плазменной струи — плазмотронах. scienceforum.ru
• Тлеющий. scienceforum.ru tech-e.ru Создаётся в разрядной трубке при низких давлениях и не очень высоких напряжениях. scienceforum.ru Используется в светящихся рекламных трубках, лампах дневного света, а также в установках плазменной обработки поверхности в микроэлектронике. scienceforum.ru tech-e.ru

Для ионизации газа также используют генераторы, которые создают электромагнитное поле. tech-e.ru Некоторые типы генераторов:

• Низкочастотный (НЧ). tech-e.ru Используется в основном для «жёсткой» быстрой очистки образцов от загрязнений перед последующими операциями. tech-e.ru
• Высокочастотный (ВЧ). tech-e.ru Способен создавать «мягкую» плазму, не повреждающую даже чувствительные элементы на обрабатываемых образцах. tech-e.ru
• Сверхвысокочастотный (СВЧ). tech-e.ru Основная область применения таких генераторов — быстрое удаление с подложек толстых слоёв органических материалов. tech-e.ru