Отжиг может влиять на изменение удельного сопротивления меди, в зависимости от температуры и способа проведения процесса. 5

При температуре отжига от 573 до 773 К удельное сопротивление медной проволоки снижается. 5 Самое низкое значение наблюдается между 773 и 873 К, а при температуре отжига выше 923 К — быстро увеличивается. 5

Снижение удельного сопротивления объясняется равномерным укрупнением зёрен и высокими эффектами ориентации при высокой температуре и высокой скорости нагрева. 5 Увеличение сопротивления при более высоких температурах нагрева выше 923 К связано с реакцией между барьерами Cu и Ta/TaN: чем больше степень реакции, тем выше удельное сопротивление. 5

Например, отжиг после вытягивания («волочения») проволоки уменьшает удельное сопротивление меди на несколько процентов. 3