Устройство ионных манометров с холодным и горячим катодом имеет свои особенности:

1. Ионизационный манометр с горячим катодом состоит из трёх электродов: коллектора, нити накала и сетки. 1 Через катод датчика пропускают электрический ток, в результате чего он нагревается и возникает эмиссия электронов. 2 Эти электроны начинают движение в сторону сетки, напряжение на которой относительно коллектора составляет 200 В. 2 В процессе своего движения к сетке электроны сталкиваются с молекулами газа, образуя положительно заряженные ионы. 2 Ионы под воздействием электрического поля движутся к коллектору и, попадая на него, создают ионный ток, который фиксируется приёмным устройством модуля. 2 Величина ионного тока сопоставляется с величиной электронного тока и, как результат, получается величина давления в вакуумном объёме. 2

2. Ионизационный манометр с холодным катодом использует разряд Пеннинга, возбуждаемый между холодными электродами в постоянном магнитном поле. 2 Под действием электрического и магнитного полей электроны движутся таким образом, что их попадание на анод может происходить только в результате столкновений с молекулами газа. 2 Образовавшиеся при этом вторичные электроны движутся по аналогичным траекториям, а ионы, попадая на катод, вызывают на нём ионно-электронную эмиссию. 2 В результате, в разрядном промежутке возникает самостоятельный разряд. 2 При измерении полученного ионного тока судят о давлении в вакуумной камере. 2