Как устроены ионные манометры с холодным и горячим катодом?

Устройство ионных манометров с холодным и горячим катодом имеет свои особенности:

1. Ионизационный манометр с горячим катодом состоит из трёх электродов: коллектора, нити накала и сетки. ru.wikipedia.org Через катод датчика пропускают электрический ток, в результате чего он нагревается и возникает эмиссия электронов. www.intech-group.ru Эти электроны начинают движение в сторону сетки, напряжение на которой относительно коллектора составляет 200 В. www.intech-group.ru В процессе своего движения к сетке электроны сталкиваются с молекулами газа, образуя положительно заряженные ионы. www.intech-group.ru Ионы под воздействием электрического поля движутся к коллектору и, попадая на него, создают ионный ток, который фиксируется приёмным устройством модуля. www.intech-group.ru Величина ионного тока сопоставляется с величиной электронного тока и, как результат, получается величина давления в вакуумном объёме. www.intech-group.ru

2. Ионизационный манометр с холодным катодом использует разряд Пеннинга, возбуждаемый между холодными электродами в постоянном магнитном поле. www.intech-group.ru Под действием электрического и магнитного полей электроны движутся таким образом, что их попадание на анод может происходить только в результате столкновений с молекулами газа. www.intech-group.ru Образовавшиеся при этом вторичные электроны движутся по аналогичным траекториям, а ионы, попадая на катод, вызывают на нём ионно-электронную эмиссию. www.intech-group.ru В результате, в разрядном промежутке возникает самостоятельный разряд. www.intech-group.ru При измерении полученного ионного тока судят о давлении в вакуумной камере. www.intech-group.ru