Как условия космического вакуума влияют на процесс молекулярно-лучевой эпитаксии?

Условия космического вакуума благоприятны для процесса молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) по нескольким причинам: trudymai.ru kras-electron.ru

• Глубокий вакуум и отсутствие углеродсодержащих компонент. trudymai.ru В таких условиях эпитаксиальные слои могут обладать рекордными характеристиками по чистоте и концентрации центров безизлучательной рекомбинации. trudymai.ru
• Высокая скорость откачки. trudymai.ru kras-electron.ru Это позволяет сверхбыстро менять химический состав газовой фазы в зоне роста на поверхности подложки, что даёт возможность получать гетеропереходы с идеально резкими профилями. trudymai.ru
• Отсутствие стенок рабочей камеры. trudymai.ru kras-electron.ru Это устраняет накопление ранее распылённых веществ и их неконтролируемый перенос на подложку при последующем росте других материалов. trudymai.ru Также появляется возможность увеличивать количество независимых индивидуальных источников молекулярных пучков и формировать многослойные структуры. trudymai.ru kras-electron.ru
• Возможность значительного увеличения расстояния от подложки до источника молекулярного пучка. trudymai.ru Это обеспечивает более равномерное осаждение молекулярных пучков, что улучшает однородность состава и толщины плёнок по площади подложки, а также увеличивает их диаметр. trudymai.ru
• Улучшение стабильности условий роста. trudymai.ru Это происходит за счёт ослабления возмущающего действия гравитации. trudymai.ru
• Возможность использования токсичных летучих жидкостей и газов. trudymai.ru kras-electron.ru Эти соединения быстро рассеиваются до безопасных концентраций и легко разлагаются на безопасные компоненты под действием солнечного ионизирующего излучения. trudymai.ru

Использование преимуществ космического вакуума для МЛЭ лежит в основе проекта «Экран-М», который предполагает получение сверхчистых полупроводниковых материалов на орбите. hi-tech.mail.ru www.elec.ru