Развитие терминоведения как самостоятельной научной дисциплины можно разделить на несколько этапов: 3

1. Подготовительный этап (с начала XVIII века до конца 20-х годов ХХ века). 3 На этом этапе создавали первые терминологические словари в России и Европе. 3
2. Первый этап (1930–1960). 3 Связанный с формированием основ терминологической теории и практики. 3 Основы были заложены в трудах австрийского учёного О. Вюстера и созданной им школы в Европе и одновременно в трудах российских учёных Д.С. Лотте и Э.К. Дрезена, а также лингвистов Г.О. Винокура, А.А. Реформатского и В.В. Виноградова. 3
3. Второй этап (1970–1980 годы). 3 Отмечен становлением, уточнением и развитием взглядов на специальную лексику и пути её совершенствования. 3 В этот период терминоведение получило своё название и отделилось от лингвистики и других наук. 3
4. Третий этап (конец 90-х годов ХХ века). 3 На этом этапе происходило активное сближение терминоведения с когнитивными науками, философией, психологией, искусственным интеллектом. 3

В отечественной лингвистике начало становления терминоведения как самостоятельной научной области датируется 1931 годом, когда появились работы учёных-инженеров Д. С. Лотте, С. А. Чаплыгина, Э. К. Дрезена. 5

В Европе зарождение терминоведения как отдельной науки связано с именем австрийского учёного Ойгена Вюстера. 25 В 1931 году он написал докторскую диссертацию «Международное нормирование речи в технике и электронике», в которой отмечал, что следует отдавать предпочтение греческим и латинским основам при выделении терминов из лексикосферы национального языка. 25