Как развивались стандарты измерений в микроэлектронике?

Развитие стандартов измерений в микроэлектронике связано с усложнением технологических процессов и повышением требований к качеству продукции. www.electronics.ru

Некоторые этапы развития:

• 1967 год — Международная электротехническая комиссия (МЭК) издала документ, включающий определения нескольких общих основополагающих терминов, таких как микроэлектроника, интегральная микросхема и другие. www.vbega.ru
• 1971 год — был разработан и утверждён Государственный стандарт по терминологическим вопросам (ГОСТ I702I-71). www.vbega.ru Он включал 16 терминов, причём наряду с общими понятиями были даны однозначные определения и для частей микросхем (подложка, корпус). www.vbega.ru
• 1975 год — терминологический стандарт был расширен (ГОСТ I702I-75) в связи с появлением таких новых понятий, как плотность упаковки, степень интеграции, большая интегральная схема и другие. www.vbega.ru
• 1979 год — был утверждён стандарт СЭВ по терминам и определениям в области микроэлектроники (СТ СЭВ 1623-79). www.vbega.ru
• 1987 год — в ГОСТ 27.394-87 «Микросхемы интегральные заказные и полузаказные» были введены определения терминов, расширяющие понятия кристалл микросхемы, а также микросхем общего назначения, заказных и полузаказных. www.vbega.ru
• 1988 год — с учётом введённых изменений был издан ГОСТ 17021-88. www.vbega.ru

В связи с повышенными стандартами скоростной работы и стабильности микроэлектронных устройств, число проверочных процедур возросло на всех этапах их изготовления, что побудило к разработке и внедрению высокоэффективных автоматизированных систем измерения. elib.pnzgu.ru

По информации на август 2025 года, Всероссийский научно-исследовательский институт радиотехнических и физико-технических измерений (ВНИИФТРИ) разрабатывает новый эталон по измерениям в микроэлектронике. www.vniiftri.ru