Метод сканирования зондом в нанотехнологиях развивается следующим образом:

• Создан метод объектно-ориентированного сканирования. 1 С его помощью можно получать рельеф поверхности с предельным для используемого типа прибора латеральным и вертикальным разрешением, измерять постоянные решётки и кристаллографические направления на 2–3 порядка точнее, чем при обычном сканировании. 1
• Разработан метод активного сканирования рельефа. 1 Он основан на использовании особенностей исследуемой поверхности в качестве опорных точек при выполнении относительных перемещений. 1 Это позволяет компенсировать негативное влияние термодрейфа головки микроскопа и ползучести пьезоманипуляторов, повысить точность измерений и снять ограничения на размеры получаемых сканов. 1
• Внедрена распределённая автоматическая калибровка. 1 С её помощью в каждой точке пространства сканирования, используя высокоупорядоченные поверхностные структуры природных эталонов, ищется тройка локальных калибровочных коэффициентов. 1 Это помогает почти полностью исправить искажения, вносимые нелинейностью, неортогональностью и паразитными связями пьезоманипуляторов микроскопа. 1

Также развивается литография зондового сканирования (SPL). 4 Этот метод стал альтернативой литографии для научных исследований, сочетающей размерность, относительно низкие технологические требования и способность работать с мягкими веществами от малых органических молекул до белков и полимеров. 4