Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) работает следующим образом: 17

1. Электронная пушка служит источником электронов. 1 Отрицательно заряженные электроны притягиваются к аноду, который представляет собой положительно заряженное кольцевое устройство. 1
2. Когда электроны проходят через вакуум внутри микроскопа, магнитная линза фокусирует поток электронов. 1
3. Сфокусированные электроны попадают на образец на предметный столик и отражаются от образца, генерируя рентгеновские лучи. 1
4. Отражённые или рассеянные электроны и рентгеновские лучи преобразуются в сигналы, которые передают изображение на экран, где учёный исследует образец. 1

Растровый электронный микроскоп (РЭМ) работает так: 410

1. Тонкий электронный зонд генерируется электронной пушкой, которая играет роль источника электронов, и фокусируется электронными линзами. 46
2. Сканирующие катушки отклоняют зонд в двух взаимоперпендикулярных направлениях, сканируя поверхность образца зондом. 46
3. Электроны зонда взаимодействуют с материалом образца и генерируют различные типы сигналов: вторичные электроны, обратноотражённые электроны, Оже-электроны, рентгеновское излучение и т. д.. 46
4. Эти сигналы являются носителями информации о топографии и материале образца. 4
5. Получаемые изображения регистрируются в виде нулей и единиц, а затем преобразовываются в цифровую картинку. 10 Работа растрового электронного микроскопа завершается, когда весь образец будет просканирован. 10