Принцип работы ионных насосов заключается в следующем: 2

1. Основным элементом обычного ионного насоса является ловушка Пеннинга. 2 Закрученное облако электронов, создаваемое электрическим разрядом, временно сохраняется в анодной области ловушки Пеннинга. 2
2. Эти электроны ионизируют атомы и молекулы поступающего газа. 2
3. Образующиеся в результате вихревые ионы ускоряются, ударяясь о химически активный катод (обычно титан). 2
4. При ударе ускоренные ионы либо погружаются в катод, либо распыляют материал катода на стенки насоса. 2
5. Свежераспыленный химически активный катодный материал действует как газопоглотитель, который затем удаляет газ как за счёт хемосорбции, так и за счёт физической абсорбции, что приводит к чистому откачивающему действию. 2

В геттерно-ионных насосах принцип работы основывается на захвате и последующем связывании молекул протекающего газа титановым слоем, который напыляется на геттер, с последующим удержанием их во внутреннем объёме агрегата. 1