Принцип работы спектрометра основан на накоплении, обработке и анализе спектра излучения. 2 Получают этот спектр методом облучения образца и регистрации появляющейся флуоресценции. 2

Обычно измеряемыми величинами являются интенсивность и энергия (длина волны, частота) излучения, но могут регистрироваться и другие характеристики, например, поляризационное состояние. 14

Некоторые этапы работы рентгенофлуоресцентного спектрометра: 1

1. Излучение рентгеновской трубки возбуждает атомы исследуемого вещества. 1
2. Возникает вторичное флуоресцентное излучение, которое попадает на диспергирующий элемент — кристалл-анализатор. 1
3. Отразившись от него, излучение регистрируется детектором. 1
4. Кристалл-анализатор и детектор перемещаются с помощью прецизионного гониометра, который управляется с компьютера. 1 Каждому положению гониометра соответствует определённая длина волны вторичного излучения. 1
5. При изменении угла падения излучения на детектор, в него попадают разные спектральные линии, которые отражаются от кристалла. 1
6. Интенсивность спектральных линий говорит о количественном содержании того или иного элемента. 1 Концентрация рассчитывается методом сравнения с известными значениями стандартных образцов. 1

В масс-спектрометре принцип работы основан на измерении отношения массы атома к его заряду. 2 Сначала исследуемый материал ионизируется выбиванием электронов из атома, затем полученные ионы ускоряются так, чтобы каждый имел одинаковую кинетическую энергию, после чего производится отклонение ионов от траектории (чем меньше его масса, тем сильнее он отклоняется). 2 Завершающий этап — детектирование пучка ионов, прошедших через прибор. 2