Скользящее падение рентгеновских лучей работает следующим образом: при уменьшении угла скольжения рентгеновского луча уменьшается глубина зондирования приповерхностного слоя образца. 1 При этом информативный объём образца остаётся большим, что позволяет послойно исследовать тонкие плёнки. 1

В материаловедении метод скользящих рентгеновских лучей позволяет проводить неразрушающий анализ структуры сверхтонких поверхностных слоёв и границ раздела. 4 Для этого используют резко асимметричные схемы дифракции, в которых отражение осуществляется от атомных плоскостей, составляющих приблизительно угол Брэгга с поверхностью кристалла. 4 Это помогает значительно уменьшить глубину проникновения поля в кристалл и исследовать более тонкие слои с толщиной порядка 10 нм. 4

В медицине метод скользящих рентгеновских лучей может быть полезен для исследования слоёв с толщиной, меньшей информативной глубины рентгеновской дифракции. 1