Процесс фотоэлектронной эмиссии включает три последовательных этапа: 1

1. Поглощение фотона. 14 Вследствие этого внутри вещества появляется электрон с энергией выше средней по объёму. 1
2. Движение электрона к поверхности тела. 14 На этом пути часть энергии рассеивается, так как электрон взаимодействует с другими электронами и колебаниями кристаллической решётки. 1
3. Выход электрона в вакуум или другую среду за пределами тела. 14 Он проходит через потенциальный барьер на границе раздела этих двух сред. 1

Количественной характеристикой фотоэлектронной эмиссии служит квантовый выход — число вылетевших электронов, приходящееся на один фотон, падающий на поверхность тела. 24