Работа ионизационного манометра с горячим катодом основана на зависимости от давления тока положительных ионов, образованных в результате ионизации разреженного газа. 2
Измерение происходит следующим образом: 5
- Через катод датчика пропускают электрический ток, в результате чего происходит его нагрев и возникает эмиссия электронов. 5
- Эти электроны начинают движение в сторону сетки, напряжение на которой относительно коллектора составляет 200 В. 5
- Электроны в процессе своего движения к сетке, сталкиваются с молекулами газа, образуя положительно заряженные ионы. 5
- Ионы под воздействием электрического поля движутся к коллектору и, попадая на него, создают ионный ток, который фиксируется приёмным устройством модуля. 5
- Величина ионного тока сопоставляется с величиной электронного тока и, как результат, получается величина давления в вакуумном объёме. 5