Как работает ионизационный манометр с горячим катодом?

Работа ионизационного манометра с горячим катодом основана на зависимости от давления тока положительных ионов, образованных в результате ионизации разреженного газа. www.neftemagnat.ru

Измерение происходит следующим образом: www.intech-group.ru

1. Через катод датчика пропускают электрический ток, в результате чего происходит его нагрев и возникает эмиссия электронов. www.intech-group.ru
2. Эти электроны начинают движение в сторону сетки, напряжение на которой относительно коллектора составляет 200 В. www.intech-group.ru
3. Электроны в процессе своего движения к сетке, сталкиваются с молекулами газа, образуя положительно заряженные ионы. www.intech-group.ru
4. Ионы под воздействием электрического поля движутся к коллектору и, попадая на него, создают ионный ток, который фиксируется приёмным устройством модуля. www.intech-group.ru
5. Величина ионного тока сопоставляется с величиной электронного тока и, как результат, получается величина давления в вакуумном объёме. www.intech-group.ru