Как работает ионизационный манометр для измерения сверхнизкого давления?

Принцип работы ионизационного манометра для измерения сверхнизкого давления основан на ионизации молекул газа электронами и измерении ионного тока, величина которого зависит от давления газов. keklab.ru

Процесс происходит так: cyberleninka.ru

1. В стеклянном баллоне смонтирована трёхэлектродная система, состоящая из коллектора ионов, анодной сетки и прямонакального катода. keklab.ru cyberleninka.ru
2. На анодную сетку подаётся положительный относительно катода потенциал, а на цилиндрический коллектор ионов — отрицательный. keklab.ru cyberleninka.ru
3. Вольфрамовый катод манометра при нагреве испускает электроны, которые под действием ускоряющего электрического поля устремляются по направлению к сетке, создавая в её цепи электронный ток. cyberleninka.ru
4. Значительная часть электронов пролетает между нитками сетки в пространство между сеткой и коллектором ионов, где происходит ионизация газа электронами. cyberleninka.ru
5. Между анодом и коллектором электроны попадают в тормозящее поле. keklab.ru В точке пространства с нулевым потенциалом электроны останавливаются и начинают движение в противоположном направлении — к положительно заряженной анодной сетке. cyberleninka.ru
6. Образующиеся положительные ионы под действием ускоряющего для них поля коллектора ионов устремляются к нему и, отдавая ему свой положительный заряд, создают в его цепи ионный ток. cyberleninka.ru

Чтобы сила ионного тока была пропорциональна давлению газа, необходимо, чтобы сила электронного тока (то есть мощность ионизатора) сохранялась постоянной. storage.ucomplex.org

Для измерения давления достаточно при заданном электронном токе измерить ионный ток и разделить на постоянную манометра. cyberleninka.ru