Принцип работы атомно-силового микроскопа (АСМ) основан на регистрации силового взаимодействия между поверхностью исследуемого образца и зондом. 45 В качестве зонда используется наноразмерное остриё, располагающееся на конце упругой консоли, называемой кантилевером. 5
Сила, действующая на зонд со стороны поверхности, приводит к изгибу консоли. 4 Появление возвышенностей или впадин под остриём приводит к изменению силы, действующей на зонд, а значит, и изменению величины изгиба кантилевера. 5 Таким образом, регистрируя величину изгиба, можно сделать вывод о рельефе поверхности. 5
В ионном микроскопе принцип работы основан на том, что газообразный гелий ионизуется в сильном электрическом поле вблизи острия. 2 Ионы, образующиеся с помощью источника, достигают требуемой энергии ускорения и проходят через диафрагму, которая формирует пучок ионов. 2 Отдельный выступающий на поверхности образца атом «эмитирует» ионы, которые формируют на экране изображение, характеризующееся низкой яркостью. 2