Эволюция производства интегральных схем на кремниевых пластинах включала следующие этапы:

• Появление первых кремниевых транзисторных структур. 1 Летом 1954 года Гордон Тил вырастил на Texas Instruments (TI) первую кремниевую транзисторную структуру, а в 1955 году кремниевые транзисторы пошли в серию. 1
• Разработка метода мокрого окисления кремния. 12 В начале 1955 года Карл Фрош из Bell Labs открыл это явление, а в следующие два года Фрош, Молл, Фуллер и Холоньяк довели его до внедрения в серийное производство. 1
• Создание первой полноценной полупроводниковой интегральной схемы. 1 27 сентября 1960 года группа Джея Ласта создала в компании «Fairchild Semiconductor» первую работоспособную полупроводниковую интегральную схему по идеям Нойса и Эрни. 1
• Разработка нового подхода к проектированию. 1 В 1961–1962 годах разработчик Sylvania Том Лонго предложил использовать в одной интегральной схеме различные конфигурации транзисторов в зависимости от их функций в схеме. 1
• Появление транзисторно-транзисторной логики (ТТЛ). 12 В конце 1962 года Sylvania выпустила в продажу первое семейство разработанной Лонго ТТЛ — исторически первый тип интегральной логики, сумевший надолго закрепиться на рынке. 1
• Прорыв в аналоговой схемотехнике. 1 В 1964–1965 годах разработчик операционных усилителей Fairchild Боб Видлар совершил прорыв подобного уровня. 1
• Появление МОП-транзистора. 2 МОП-транзистор был изобретён в Bell Labs между 1955 и 1960 годами и позволил создавать интегральные схемы высокой плотности. 2
• Выпуск первого микропроцессора. 3 В 1971 году фирма Intel выпустила первый микропроцессор «Intel 4004», который содержал все компоненты, необходимые для создания компьютера. 3
• Развитие концепции «система на кристалле». 4 С ростом степени интеграции появилась возможность разместить все составные части системы на одном кристалле, что позволило увеличить скорость и уменьшить потребление, повысить точность и надёжность. 4