Сорбция в вакуумной технике применяется в сорбционных вакуумных насосах. 14 Это газоулавливающие насосы, в которых откачка происходит вследствие сорбции газа. 1

Цикл сорбционного насоса состоит из трёх фаз: 5

1. Сорбция. 5 Корпус насоса охлаждают до низких температур, обычно путём погружения его в колбу Дьюара, заполненную жидким азотом. 5 В результате газы либо конденсируются, либо адсорбируются большой поверхностью сорбента. 5
2. Десорбция. 5 Насосу дают прогреться до комнатной температуры, и газы выходят через клапан сброса давления или другое отверстие в атмосферу. 5
3. Регенерация. 5 Корпус насоса нагревается до 300 °C для удаления водяного пара, который не десорбируется при комнатной температуре и накапливается в сорбенте. 5

В качестве адсорбентов в адсорбционных вакуумных насосах в основном используются углеродные сорбенты (активированные угли), цеолиты (молекулярные сита) и силикагели. 2