Устойчивые сочетания с модальными частицами в русском языке появились в результате постепенного формирования из наречий. 1 В деловом и обиходном языке Московской Руси XVI–XVII вв. такие сочетания совмещали несколько синтаксических функций: могли употребляться как наречие и междометие, наречие и модальное слово. 1 Это указывало на их формирование из наречий. 1

Также модальные частицы могут образовываться из модальных слов или форм разных частей речи, несущих модальную функцию, путём редукции в частицы. 3 На этот процесс влияет ослабление лексического значения или изменение грамматической функции. 3

Ещё одна гипотеза предполагает, что модальные слова произошли из вставных синтаксических единиц (предложений и словосочетаний). 5