Понятие субстанции развивалось в истории философии следующим образом:

1. В античной философии субстанция трактуется как субстрат, первооснова всех вещей (например, «вода» Фалеса, «огонь» Гераклита). 1
2. В латинской патристике субстанция Бога противопоставлялась наличному бытию конкретных сущностей-ипостасей. 1
3. В Средние века вопрос о субстанции решается прежде всего в споре о субстанциональных формах (номинализм, реализм). 1
4. В Новое время понятие субстанции трактуется и распространяется достаточно широко. 1 Первая точка зрения связана с онтологическим пониманием субстанции как предельного основания бытия (Фрэнсис Бэкон, Бенедикт Спиноза, Готфрид Вильгельм Лейбниц). 1 Вторая точка зрения — гносеологическое осмысление этого понятия, его возможности и необходимости для научного знания (Джон Локк, Дэвид Юм). 1
5. Иммануил Кант полагал, что закон, согласно которому при любой смене явлений субстанция сохраняется и количество её в природе остаётся неизменным, может быть отнесён к «аналогам опыта». 1
6. Георг Вильгельм Фридрих Гегель определял субстанцию как целостность изменяющихся, преходящих сторон вещей, как «существенную ступень в процессе развития воли». 1
7. Марксистская философия трактовала субстанцию как «материю» и одновременно как субъект всех изменений. 1
8. В эпоху романтизма слово «субстанция» либо изгоняется из языка философии, либо сливается с понятием сущности. 1

В дальнейшем развитии истории философии понятие субстанции обогащалось сначала предположениями французского философа Дени Дидро и немецкого мыслителя Людвига Фейербаха, а затем естественно-научным доказательством, что свойства субстанции не сводятся к механическим. 3