Монокристаллы кремния с различными типами проводимости получают с помощью легирования. 15 Для управления свойствами кремния и создания электронного или дырочного типа электропроводности в него вводят примеси. 1
Для получения монокристаллов кремния с проводимостью р-типа (дырочная) используют акцепторные примеси: B, Al, Ga, In. 5
Для получения монокристаллов кремния с проводимостью n-типа (электронная) — донорные примеси: P, As, Sb, Bi. 5
Некоторые способы получения монокристаллов из поликристаллического кремния:
- Метод вытягивания из расплава. 2 Поликристаллический кремний нагревают до плавления в кварцевом тигле (температура плавления кремния — 1413 °C). 2 В расплав погружают затравочные монокристаллы кремния и очень медленно (со скоростью 1–3 мм/мин) вытягивают из расплава. 2 В результате получают монокристаллы цилиндрической формы. 2
- Метод зонной плавки и очистки. 2 Небольшую узкую часть (зону) поликристаллического кремниевого стержня расплавляют методом индукционного нагрева рядом с затравочным монокристаллом. 2 Зону расплава постепенно перемещают, а расплавленный кремний кристаллизуется в виде монокристалла. 2