Явление интерференции позволяет оценить качество обработки поверхности изделия с точностью до долей длины волны. 35

Процесс происходит так: между поверхностью образца и очень гладкой эталонной пластиной создают тонкую клиновидную прослойку воздуха. 35 Затем при отражении света от проверяемой поверхности и нижней грани пластины образуются интерференционные полосы. 35

Если поверхность идеальная, то полосы будут иметь форму окружностей. 14 При наличии небольших ошибок (например, вмятин или царапин) полосы искривляются. 14 По форме полос и их ширине можно судить о характере дефектов и их глубине. 1

Для измерений интерференционным методом используют специальные устройства — интерферометры. 14