Метод дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) применяется в материаловедении и металлургии для изучения кристаллографической структуры материалов. 5

Некоторые области применения:

• Исследование примесей и дефектов. 5 Четкость диаграмм обратного рассеяния электронов позволяет оценить уровень пластичности. 5
• Измерение остаточных напряжений. 5 Изменения положения оси зоны EBSD могут использоваться для измерения остаточных напряжений и небольших поворотов решётки. 5
• Статистический анализ. 5 Метод применяется для исследования средней разориентации, размера зёрен и кристаллографической текстуры. 5
• Определение причин разрушения металлических конструкций. 12 С помощью EBSD можно выявить характерные отличительные особенности строения материала на участках под изломом и вдали от него. 1

Метод реализуется с помощью сканирующего электронного микроскопа, оснащённого детектором EBSD. 5

В последнее десятилетие наблюдается быстрое внедрение EBSD в металлургии, материаловедении и физике. 4 Этому способствует доступность сканирующей электронной микроскопии, относительная простота подготовки образцов, высокая скорость сбора данных и однозначность информации о микроструктуре. 4