При увеличении частоты питания чувствительность ёмкостного датчика также увеличивается. 14

Это связано с тем, что ёмкостное сопротивление обратно пропорционально частоте питания. 14 При малой частоте питания ёмкостное сопротивление настолько велико, что изменение тока в цепи с ёмкостным датчиком трудно зафиксировать даже высокочувствительным прибором. 14 Применение ёмкостных датчиков предпочтительнее при питании повышенной частотой (400 Гц и больше). 14

Однако при этом необходимы специальные меры по экранированию схемы и подводящих проводов для уменьшения погрешности измерения, вызванной токами утечки и токами наводки. 1

Также чувствительность ёмкостного датчика непостоянна в диапазоне возможных перемещений: она максимальна при малых входных сигналах (когда пластины расположены близко друг к другу) и быстро уменьшается при удалении пластин. 12