Для измерения очень малых объектов в микроэлектронике и биомедицине используют электронную микроскопию. www.microsystemy.ru sernia.ru
Суть метода: через исследуемый образец подают электронный пучок разной энергии. sernia.ru Под воздействием электромагнитного поля он фокусируется на поверхности в виде пятна, в диаметре не превышающего 5 нм. sernia.ru Это пятно и выполняет «изучение» объекта. sernia.ru
Некоторые методы электронной микроскопии, которые используются для измерения очень малых объектов:
- Растровая электронная микроскопия (РЭМ). yandex.ru Поток электронов, сформированный в узкий пучок, направляется на поверхность измеряемого объекта и перемещается по ней. yandex.ru В результате возникает поток электронов из объекта, который захватывается детектором и формирует электрический сигнал. yandex.ru
- Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ). sernia.ru В микроскопах, работающих по этой технологии, на объект воздействует пучок ускоренных электронов. sernia.ru Те электроны, которые образец не пропустит, будут отклоняться на небольшой угол. sernia.ru И они, и те, которые пройдут через исследуемый объект с незначительными энергетическими потерями, попадают на магнитные линзы. sernia.ru В результате на фотоплёнке или люминесцентном экране формируется изображение внутренней структуры. sernia.ru
- Иммуноэлектронная микроскопия. www.microsystemy.ru Это визуализация взаимодействия антигена и антител с помощью электронной микроскопии. www.microsystemy.ru Метод позволяет оценить исход серологической реакции, идентифицировать её морфологический субстрат, то есть определить форму и размер вирусных частиц. www.microsystemy.ru