Как измеряются очень малые объекты в микроэлектронике и биомедицине?

Для измерения очень малых объектов в микроэлектронике и биомедицине используют электронную микроскопию. 15

Суть метода: через исследуемый образец подают электронный пучок разной энергии. 5 Под воздействием электромагнитного поля он фокусируется на поверхности в виде пятна, в диаметре не превышающего 5 нм. 5 Это пятно и выполняет «изучение» объекта. 5

Некоторые методы электронной микроскопии, которые используются для измерения очень малых объектов:

• Растровая электронная микроскопия (РЭМ). 3 Поток электронов, сформированный в узкий пучок, направляется на поверхность измеряемого объекта и перемещается по ней. 3 В результате возникает поток электронов из объекта, который захватывается детектором и формирует электрический сигнал. 3
• Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ). 5 В микроскопах, работающих по этой технологии, на объект воздействует пучок ускоренных электронов. 5 Те электроны, которые образец не пропустит, будут отклоняться на небольшой угол. 5 И они, и те, которые пройдут через исследуемый объект с незначительными энергетическими потерями, попадают на магнитные линзы. 5 В результате на фотоплёнке или люминесцентном экране формируется изображение внутренней структуры. 5
• Иммуноэлектронная микроскопия. 1 Это визуализация взаимодействия антигена и антител с помощью электронной микроскопии. 1 Метод позволяет оценить исход серологической реакции, идентифицировать её морфологический субстрат, то есть определить форму и размер вирусных частиц. 1