Для изготовления голографической дифракционной решётки используют светочувствительный материал. 1 На нём образуется интерференционная картина (периодическая структура) от излучения двух коллимированных однородных лазерных пучков. 1

Один из способов изготовления включает следующие этапы: 3

1. На очищенную подложку (стеклянную или кварцевую) термическим испарением в вакууме последовательно наносят адгезионный слой Cr и слой неорганического фоторезиста на основе халькогенидных стёкол (XC). 3
2. Экспонируют плёнку путём проекции на неё интерференционной картины, образованной когерентными пучками лазерного излучения. 3
3. Формируют рельеф с помощью селективного травления фоторезиста. 3
4. Наносят на решётку слой Al для увеличения дифракционной эффективности. 3

Также для изготовления голографических дифракционных решёток применяют метод формования, при котором расплавленная эмульсия подаётся капиллярным способом и студенится между двумя плоскопараллельными поверхностями оптических стёкол: одним из них является подложка, другим — формующая пластина, покрытая гидрофобным слоем. 5