Циклотронный резонанс (ЦР) используется в научных исследованиях и промышленности следующим образом:
В научных исследованиях ЦР применяется для определения свойств различных материалов. 1 Например, с его помощью можно определить закон дисперсии носителей заряда, их знак, эффективную массу, концентрацию, времена жизни. 3 Также ЦР позволяет изучить механизмы рассеяния носителей заряда и электронно-фононного взаимодействия. 3
В промышленности ЦР используется для нанесения тонких плёнок полупроводниковых материалов. 1 Применение ЦР позволяет наносить плёнки при более низком остаточном давлении (10–7 торр). 1
Кроме того, в источниках ионов электронно-циклотронного резонанса (ЭЦР) ЦР применяется для ионизации плазмы. 2