Интерферометры используются в науке и промышленности для измерения малых смещений, изменений показателя преломления и неровностей поверхности. 1

В науке интерферометры применяют, например:

• В аналитической науке для измерения длины и формы оптических компонент с точностью до нанометра. 1
• В Фурье-спектроскопии для анализа света, содержащего особенности спектров поглощения или излучения, связанные с веществом или смесью. 1
• В астрономии для измерения угловых размеров и расстояний между звёздами, а также для получения высокоразрешающих изображений астрономических объектов. 5

В промышленности интерферометры используют для:

• Контроля поверхности в процессе изготовления. 1 С их помощью измеряют шероховатость, трёхмерно профилируют поверхность в труднодоступных местах и в агрессивных средах, профилируют поверхности с большой разностью высот (канавки, каналы, отверстия). 1
• Измерения толщины плёнки (в полупроводниковой и оптической промышленности и др.). 1