Интерференция влияет на точность измерений в интерферометрах следующим образом: нелинейность зависимости разности фаз выходных лучей интерферометра в пределах апертурного угла наблюдения приводит к деформации интерференционного поля и, как следствие, падению амплитуды выходного сигнала. 1

Также погрешность измерений зависит от точности определения абсолютного значения интерференции, положения полос на исследуемой поверхности и угла наблюдения, а также от нарушения условий, при которых выполняются расчётные формулы (отклонение освещающего пучка или объекта от оси интерферометра, отличие формы объекта от цилиндрической). 5

Кроме того, результат измерений сильно подвержен влиянию дифракции, поэтому точные измерения должны выполняться в условиях, когда на измеряемый волновой фронт не оказывает влияния дифракция Френеля. 3