В микроэлектронике оксид кремния (диоксид кремния) применяется в качестве изолирующего слоя (например, подзатворного диэлектрика в полевых транзисторах), а также в качестве защитного покрытия. 1

Кроме того, слои оксида кремния используются как:

• маска для диффузии легирующих примесей; 3
• для пассивации поверхности полупроводников; 3
• для изоляции отдельных элементов СБИС друг от друга; 3
• один из многослойных диэлектриков в производстве МНОП элементов памяти; 3
• изоляция в схемах с многослойной металлизацией; 3
• составная часть шаблона для рентгеновской литографии. 3

В оптоэлектронике оксид кремния используется для производства стекловолокна и лазеров. 2