Дифракция в нанотехнологиях и наноэлектронике используется для изучения структуры наноматериалов. 4 С её помощью получают информацию о размере кристаллитов, распределении зёрен по размерам, толщине и количестве слоёв в многослойных нанообъектах. 4

Например, рентгеновская дифракция в сочетании с численным моделированием формы дифракционных линий позволяет определить размеры и форму наноструктурированных объектов, а также структурные искажения и их температурную зависимость. 4

Дифракция электронов позволяет создавать наноструктуры на атомном уровне, что важно для разработки новых материалов и устройств. 1 Например, с её помощью исследуют более мелкие фрагменты кристалла с помощью просвечивающего электронного микроскопа. 5