Некоторые отличия теплового пробоя от лавинного:

• Механизм возникновения: лавинный пробой происходит из-за лавинообразного размножения носителей заряда путём ударной ионизации атомов полупроводника под действием сильного электрического поля. 4 Тепловой пробой обусловлен разогревом p-n-перехода вследствие выделения теплоты при протекании обратного тока, когда отсутствует достаточный теплоотвод. 4
• Обратимость: лавинный пробой теоретически обратим, но чтобы он проявился изолированно, не перейдя в тепловой, в твёрдом или жидком диэлектрике должна выделяться очень малая энергия. 1 Тепловой пробой является необратимым. 2
• Последствия: лавинный пробой не приводит к повреждению диода и при снижении напряжения его свойства сохраняются. 2 Тепловой пробой, как правило, приводит к разрушению твёрдого диэлектрика с потерей его изоляционных свойств. 1
• Условия возникновения: лавинный пробой типичен для слаболегированных полупроводников, со значительной толщиной p-n перехода. 5 Тепловой пробой может возникать без развития лавинного пробоя при нагреве диэлектрика в переменном электрическом поле. 1