Ионизационный манометр отличается от других типов манометров тем, что измеряет давление косвенно через измерение ионов, образующихся при бомбардировке газа электронами. 1 Чем меньше плотность газа, тем меньше ионов будет образовано. 1

Ионизационные манометры выпускаются трёх видов: 2

1. С холодным катодом. 12 В этом случае электроны образуются в разряде, созданном высоковольтным электрическим разрядом. 1 Манометры с холодным катодом измеряют давление в диапазоне 10−2 мм рт. ст. до 10−9 мм рт. ст.. 1
2. С горячим катодом. 1 В этом случае электрически нагреваемая нить накала создаёт электронный луч. 1 Электроны проходят через манометр и ионизируют молекулы газа вокруг себя. 1 Образующиеся ионы собираются на отрицательно заряженном электроде. 1 Манометры с горячим катодом измеряют давление в диапазоне 10−3 мм рт. ст. до 10−10 мм рт. ст.. 1
3. С вращающимся ротором. 12 Это самый надёжный манометр, практически единственный его минус — высокая стоимость. 2

Также ионизационные манометры обладают откачивающим действием за счёт хемосорбции О2 на горячем катоде из вольфрама и ионной откачки (осаждение ионов на коллекторе). 6