Ионизационный манометр отличается от других типов манометров тем, что измеряет давление косвенно через измерение ионов, образующихся при бомбардировке газа электронами. ru.wikipedia.org Чем меньше плотность газа, тем меньше ионов будет образовано. ru.wikipedia.org
Ионизационные манометры выпускаются трёх видов: m-strana.ru
- С холодным катодом. ru.wikipedia.org m-strana.ru В этом случае электроны образуются в разряде, созданном высоковольтным электрическим разрядом. ru.wikipedia.org Манометры с холодным катодом измеряют давление в диапазоне 10−2 мм рт. ст. до 10−9 мм рт. ст.. ru.wikipedia.org
- С горячим катодом. ru.wikipedia.org В этом случае электрически нагреваемая нить накала создаёт электронный луч. ru.wikipedia.org Электроны проходят через манометр и ионизируют молекулы газа вокруг себя. ru.wikipedia.org Образующиеся ионы собираются на отрицательно заряженном электроде. ru.wikipedia.org Манометры с горячим катодом измеряют давление в диапазоне 10−3 мм рт. ст. до 10−10 мм рт. ст.. ru.wikipedia.org
- С вращающимся ротором. ru.wikipedia.org m-strana.ru Это самый надёжный манометр, практически единственный его минус — высокая стоимость. m-strana.ru
Также ионизационные манометры обладают откачивающим действием за счёт хемосорбции О2 на горячем катоде из вольфрама и ионной откачки (осаждение ионов на коллекторе). {6-host}