Радиационное повреждение электроизмерительных приборов происходит по нескольким причинам:

1. Ионизационное повреждение. 2 Энергия, оседающая в полупроводнике или в изолирующих слоях, освобождает носители заряда (пары с электронными отверстиями). 2 Они диффундируют или дрейфуют в другие места, где могут попасть в ловушку. 2 Такой ущерб является основным следствием воздействия рентгеновского и γ-излучения и заряженных частиц. 2
2. Повреждение в результате смещения. 2 Падающее излучение вытесняет атомы из их решётки, в результате чего возникают дефекты, изменяющие электронные свойства кристалла. 2 Это основной механизм деградации устройства для высокоэнергетического нейтронного излучения. 2

В зависимости от уровня радиации и характера схемы это может приводить к росту шумов аналоговых схем, снижению их точности, сбоям в цифровых устройствах вплоть до отказов. 3