Каковы экологические последствия использования трифторида азота в микроэлектронике?

Использование трифторида азота (NF₃) в микроэлектронике может иметь экологические последствия, связанные с выбросами парниковых газов. ru.wikipedia.org www.verifiedmarketreports.com

NF₃ по своим свойствам является парниковым газом и может провоцировать глобальное потепление. ru.wikipedia.org По оценкам, он в 17 200 раз активнее, чем углекислый газ той же массы при действии в течение 100 лет. ru.wikipedia.org

Однако в силу невысоких объёмов выброса в настоящее время вклад NF₃ в парниковый эффект не превышает 0,04% от вклада антропогенных выбросов углекислого газа. ru.wikipedia.org

В ответ на экологические вызовы полупроводниковая промышленность всё чаще исследует альтернативы и разрабатывает инновации для повышения устойчивости производства. dzen.ru Например, производители исследуют альтернативные растворители, которые являются биоразлагаемыми и менее токсичными, что снижает негативное воздействие на окружающую среду. dzen.ru