Некоторые виды оборудования в радиоэлектронной промышленности, которые считаются наиболее вредными для атмосферы:

• Электронно-лучевые и лазерные установки. 1 В процессе их использования в производстве электронных компонентов и интегральных схем применяются большие количества токсичных веществ и взрывоопасных газов. 1
• Станки для механической обработки и полировки материалов. 1 Для этих целей используются экологически опасные жидкости, содержащие серную, соляную и азотную кислоты. 1
• Герметичные установки и реакторы. 2 В них происходят процессы диффузии и ионного легирования, наращивания эпитаксиальных слоёв кремния. 2 Незначительное выделение вредных веществ происходит только через систему выхлопа формавакуумного насоса или через технологическую вытяжку. 2

Согласно расчётной инструкции, к другим видам оборудования радиоэлектронного комплекса, от которого могут происходить выбросы вредных веществ в атмосферу, относятся, например, горны и бытовые теплогенераторы (печи), литейное производство, производство деталей методом порошковой металлургии. 2