Почему магнетронное напыление используется для создания тонких плёнок?

Магнетронное напыление используется для создания тонких плёнок, потому что характеризуется высокой стабильностью процесса, возможностью точного регулирования толщины и получения однородных покрытий. melytec-testing.ru

Некоторые преимущества метода:

• Контроль тепловой нагрузки. melytec-testing.ru Например, при работе с термочувствительным полиимидом водяное охлаждение катода предотвращает плавление и обугливание мишени даже при низкой мощности. melytec-testing.ru
• Защита подложек. melytec-testing.ru Кольцевая магнитная система концентрирует плазму, защищая подложки от нагрева, что критично для гибкой электроники. melytec-testing.ru
• Управление газовыделением. melytec-testing.ru Ступенчатый режим работы позволяет вакуумной системе компенсировать рост давления. melytec-testing.ru
• Работа с диэлектриками. vk.com melytec-testing.ru Использование радиочастотного источника питания нейтрализует заряд на мишени, обеспечивая стабильность плазмы. melytec-testing.ru