Какие существуют способы травления кремния в промышленности и в лаборатории?

Некоторые способы травления кремния в промышленности и в лаборатории:

• Анизотропное жидкостно-химическое травление (АЖХТ). mp-lab.ru Позволяет создавать рельеф с заданной геометрией на поверхности кремниевой пластины. mp-lab.ru Поверхность обрабатывают в химических растворах, в которых скорость растворения кремния зависит от кристаллографического направления. mp-lab.ru В качестве травителей используют водные или водно-спиртовые растворы КОН, гидразин гидрат, водно-этилендиаминовые растворы пирокатехина и другие. mp-lab.ru
• Плазмохимическое травление (ПХТ). mp-lab.ru Позволяет вытравливать глубокие канавки с высоким характеристическим отношением и вертикальными стенками. mp-lab.ru Технология базируется на «Bosсh» — процессе, который заключается в многократных циклах пассивирования стенок и травления дна канавок или углублений в камере с индуктивно-связанной плазмой. mp-lab.ru
• Сухое травление. official.satbayev.university Происходит за счёт химического и физического взаимодействий между ионами газового травильного реагента и атомами кремниевой подложки. official.satbayev.university
• Жидкостное травление. official.satbayev.university Происходит путём погружения подложки в травильную ванну или её опрыскивания травильными реагентами, которые могут быть щелочами или кислотами. official.satbayev.university Жидкостное травление может быть изотропным или анизотропным в зависимости от используемых травильных реагентов и структуры материала подложки. official.satbayev.university