Какие источники ионизации используются в современных промышленных плазменных технологиях?

В современных промышленных плазменных технологиях для ионизации чаще всего используют электрические газовые разряды различного вида. cchgeu.ru

Некоторые типы разрядов и их применение:

• Коронный разряд. www.plasmacentre.ru Возникает в резко неоднородных полях при атмосферном давлении. www.plasmacentre.ru Ионизационные процессы между электронами происходят только в небольшой части промежутка вблизи электрода с малым радиусом кривизны. www.plasmacentre.ru Используется для плазменной активации и очистки поверхности. www.plasmacentre.ru
• Тлеющий разряд. www.plasmacentre.ru Применяется в технологиях плазменной химико-термической обработки металлов. www.plasmacentre.ru Изделия погружают в плазму тлеющего разряда, горящего между катодом (изделиями) и анодом (стенками вакуумной камеры) и содержащего необходимый насыщающий элемент. www.plasmacentre.ru
• Периодические разряды. cchgeu.ru Возбуждаются и поддерживаются переменным электрическим полем. cchgeu.ru К ним относятся ВЧ, СВЧ, ЭЦР-плазма (плазма электрон-циклотронного резонанса). cchgeu.ru yandex.ru

Также для ионизации могут использоваться другие источники, например, электромагнитное излучение (рентгеновское, УФ, лазерное и т. д.) или термическая ионизация (образование ионов при нагревании газа). cchgeu.ru portal.tpu.ru