Чем отличаются датчики MEMS от других типов газовых сенсоров?

Датчики MEMS (микроэлектромеханические системы) отличаются от других типов газовых сенсоров несколькими особенностями:

• Микроскопическая конструкция. www.ic-components.ru Датчики MEMS используют механические и электронные детали, построенные на кремниевом чипе. www.ic-components.ru
• Различные методы обнаружения. www.ic-components.ru В зависимости от конструкции, датчики MEMS используют ёмкостное, термическое или пьезоэлектрическое зондирование. www.ic-components.ru
• Маленькие размеры и лёгкий вес. www.ic-components.ru wiki.dfrobot.com Датчики MEMS подходят для портативных или носимых устройств. www.ic-components.ru
• Высокая чувствительность. wiki.dfrobot.com Датчики MEMS могут обнаруживать низкие концентрации газа, что повышает точность и надёжность обнаружения. wiki.dfrobot.com
• Низкое энергопотребление. wiki.dfrobot.com Для работы датчикам MEMS требуется мало энергии, что позволяет продлевать срок службы батарей. wiki.dfrobot.com
• Быстрый отклик. wiki.dfrobot.com Благодаря крайне маленькой структуре, датчики MEMS могут реагировать на изменения газа за миллисекунды. wiki.dfrobot.com
• Возможность интеграции. wiki.dfrobot.com Датчики MEMS можно интегрировать с другими устройствами MEMS (например, акселерометрами и гироскопами) в один чип, что позволяет выполнять несколько функций одновременно. wiki.dfrobot.com