Высокая точность измерения диаметра катода в магнетронных исследованиях требуется, чтобы обеспечить корректную работу прибора и точность получаемых результатов. 14

Некоторые причины важности точных измерений:

• Влияние диаметра катода на параметры магнетронного разряда. 4 Уменьшение диаметра отверстия относительно оптимального приводит к уходу электронов из магнитной ловушки на анод вдоль магнитных силовых линий, что ухудшает параметры магнетронного разряда. 4
• Влияние толщины катода на эффективность распыления. 4 Этот параметр влияет на величину коэффициента распыления (до 10%). 4 Это связано с тем, что в зависимости от толщины катода при одной и той же магнитной системе на его поверхности разная величина магнитного поля и конфигурация магнитной ловушки. 4
• Влияние конструкции катода на его характеристики. 1 Чем ближе конструкция катода к бесконечно тонкой нити, тем с большей точностью выполняются определённые равенства. 1

Таким образом, точность измерения диаметра катода важна для правильной работы магнетрона и получения достоверных результатов исследований.