Индуктивно связанная плазма (ИСП) считается более эффективной для анализа элементов в сравнении с другими методами по следующим причинам:

• Высокая эффективность ионизации атомов любых элементов. 1 Для химических элементов с потенциалом ионизации менее 8 эВ степень ионизации составляет 90–100%. 3
• Малые помехи матрицы. 4 Окружение ионов аналита высокотемпературной плазмой сравнительно продолжительное время (приблизительно 2 мс) обуславливает малые помехи матрицы в ИСП относительно других методов ионизации. 4
• Возможность одновременного определения большого количества химических элементов. 2 В отличие от атомно-абсорбционной спектроскопии, определяющей единовременно только один элемент, ИСП может определять все элементы одновременно, что позволяет значительно ускорить процесс измерения. 5