Некоторые методы измерения тонких объектов:

• Лазерный рефлектометрический метод. 1 Используется для измерения толщины тонких прозрачных плёнок на подложке. 1 Метод основан на измерении коэффициентов отражения трёхслойной системы «воздух (вакуум) — плёнка — подложка». 1
• Эллипсометрия. 2 Поляризационно-оптический метод, который позволяет изучать свойства поверхности и приповерхностных областей объектов. 2 Метод основывается на анализе модификации поляризации пучка поляризованного света в момент его взаимодействия с поверхностью раздела сред. 2
• Определение толщины плёнки по спектральным кривым отражения или пропускания. 4 Метод пригоден только для контроля прозрачных плёнок и основан на интерференционных явлениях, возникающих в тонких слоях. 4
• Дифракционный метод. 5 Используется для измерения диаметра тонких протяжённых нитей. 5 Метод включает освещение нитей источником света, приём дифракционного изображения нитей, его обработку и вычисление диаметра нити. 5