Какие преимущества и недостатки имеет молекулярно-лучевая эпитаксия по сравнению с жидкофазной?

Некоторые преимущества молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) по сравнению с жидкофазной эпитаксией:

• Низкая температура процесса. portal.tpu.ru Это уменьшает диффузию примеси из подложки и автолегирование, что позволяет получать качественные тонкие слои. portal.tpu.ru
• Высокая точность управления уровнем легирования. portal.tpu.ru Легирование при использовании МЛЭ является безынерционным, что позволяет получать структуры со сложными профилями легирования. www.unn.ru
• Возможность резкого прерывания и возобновления роста. portal.tpu.ru Это достигается за счёт использования механических заслонок вблизи эффузионных ячеек для всех компонентов. portal.tpu.ru
• Возможность применения аналитических методов контроля в процессе роста. portal.tpu.ru Это позволяет управлять процессом роста на атомарном уровне, получать структуры с низкой степенью загрязнения. portal.tpu.ru
• Наличие атомно-гладкой поверхности растущего кристалла. portal.tpu.ru

Некоторые недостатки МЛЭ:

• Низкая производительность. www.unn.ru Это ограничивает использование метода в промышленности. www.unn.ru
• Необходимость использования сверхвысокого вакуума. www.unn.ru repo.ssau.ru Это делает технологический процесс дорогостоящим. repo.ssau.ru