Какие преимущества и недостатки имеет молекулярно-лучевая эпитаксия по сравнению с жидкофазной?

Некоторые преимущества молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) по сравнению с жидкофазной эпитаксией:

• Низкая температура процесса. 1 Это уменьшает диффузию примеси из подложки и автолегирование, что позволяет получать качественные тонкие слои. 1
• Высокая точность управления уровнем легирования. 1 Легирование при использовании МЛЭ является безынерционным, что позволяет получать структуры со сложными профилями легирования. 2
• Возможность резкого прерывания и возобновления роста. 1 Это достигается за счёт использования механических заслонок вблизи эффузионных ячеек для всех компонентов. 1
• Возможность применения аналитических методов контроля в процессе роста. 1 Это позволяет управлять процессом роста на атомарном уровне, получать структуры с низкой степенью загрязнения. 1
• Наличие атомно-гладкой поверхности растущего кристалла. 1

Некоторые недостатки МЛЭ:

• Низкая производительность. 2 Это ограничивает использование метода в промышленности. 2
• Необходимость использования сверхвысокого вакуума. 24 Это делает технологический процесс дорогостоящим. 4