Как происходит нагрев образца при ионном травлении?

Нагрев образца при ионном травлении происходит из-за преобразования энергии ионов в тепловые колебания атомов материала. repo.ssau.ru

Ионы с высокой кинетической энергией внедряются в материал и на пути своего движения испытывают упругие и неупругие столкновения с ядрами атомов и электронами вещества. repo.ssau.ru В результате происходит смещение и возбуждение атомов, изменение структуры материала в зоне столкновений. repo.ssau.ru

Более 90% энергии бомбардирующего иона трансформируется в тепловые колебания атомов материала, то есть расходуется на разогрев обрабатываемого материала. repo.ssau.ru

Нагрев прекращается, когда подводимая ионным пучком мощность сравняется с мощностью теплового излучения, испускаемого нагретым образцом, так как в вакууме других способов отвода тепла от образца не существует. applphys.orion-ir.ru vital.lib.tsu.ru