Фундаментальная статья по MEMS — это научно-исследовательская работа, которая содержит обзор основных этапов развития технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) и рассматривает основные области их применения. 1

В такой статье могут быть изложены события, послужившие истоками становления технологии, укрепляющие её позиции и приведшие к повсеместному использованию. 1 Также в ней могут быть кратко приведены сведения о конструкциях МЭМС-устройств, технологиях их изготовления, преимуществах и недостатках. 1

Пример фундаментальной статьи по MEMS — работа «История развития и области применения технологии MEMS» на сайте электронной библиотеки «КиберЛенинка». 1

Ещё одним источником, который может быть полезен, является учебное пособие «Микроэлектромеханические системы и датчики» авторов М.Е. Калинкиной, О.И. Пирожниковой, В.Л. Ткалич и А.В. Комаровой, изданное в 2020 году Университетом ИТМО. 2 В нём рассматриваются актуальные области применения МЭМС и датчиков, созданных на основе микротехнологий, основные материалы микросенсорной техники, элементная база микромеханических приборов, конструкции и принципы работы микромеханических приборов и их измерительные свойства. 2